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产品展示

Plasma表面处理装置(电浆机)主要技术参数
整机外形尺寸标准:900mm宽×1000mm深×1800mm高                (依据客户要求定制化)
腔体内尺寸标准:450mm宽*450mm深*400mm高                (依据客户要求定制化)
载物层数6层
plasma发生系统等离子体发生源
控制系统触摸屏+PLC全自动控制
进气系统2路进气、1路放空
Plasma表面处理装置(电浆机)的主要配置元件
系统组成组件明细

真空系统真空腔特种专用铝合金材料
真空计高精密真空计,高低压力报警
真空泵油泵/干泵(可选)
真空管路组件全不锈钢管路+波纹管
plasma发生系统plasma发生器射频电源
真空电极组件内置平板式电极结构
电控系统人机工控系统MCGS触摸屏,7英寸真彩色触摸式全中文界面
自动控制模块PLC控制模块(D/A、A/D转换,数据安全可输入输出)
电控集成采用国内外知名品牌元器件
进气系统气体计量系统高精度质量流量控制器
气压控制系统全套电磁阀控制
气压监测系统SMC减压阀、压力报警仪表
进气管路组件Φ6 软管+不锈钢锁套管路
载物系统托盘可根据客户工艺需求,设计定制。
其他机箱高质量喷漆
组配件国内外知名品牌元器件
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