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箱式真空等离子体处理系统GX-V1502

箱式真空等离子体处理系统GX-V1502

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产品展示

项目

规格

主机尺寸

1955W x 1580D x 1750H mm

真空腔体尺寸

1020W x 1330D x 913H mm

电极板配置

16 片垂直电极板,15 个处理位置

有效区域

1100W x 615H mm

等离子体电源

10kw-20kw

电极温度

35~95℃,模温恒定控制,待机状态也能保持温度不变,省去预热时间

工艺气体控制

标配:
O2、N2:0~5000sccm;
CF4:0~400sccm;
Ar:0~2000sccm;
可选:
额外一路工艺气体,流量范围可定制

真空检测

0.01Torr~760Torr

工作气压

0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

人机界面触摸屏

中文界面,模拟图文显示;操作员、工程师权限分级;

真空泵组

选配

型号指示灯

三色指示灯,带报警蜂鸣器

系统重量

~3.5 吨,包含主机、泵组、模温机

空间需求

4000 x 4000 x 2200(H)mm

电源需求

AC380V 三相五线,50Hz/100A,30kW

压缩空气需求

洁净、干燥,0.5~0.8MPa

工艺气体需求

0.3~0.5MPa,纯度>99.9%

厂务冰水需求

20℃,20L/min (模温机采用水冷式需求冰水,风冷式无该项)

抽风系统

>100 立方/min (模温机采用风冷式需求热排风,水冷式无该项)

废气管道

>3 立方/min,中央废气系统,DN50

环境温湿度

20~30℃,30%~70%RH


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