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箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

箱式真空等離子體處理系統GX-V1502

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產品展示

項目

規格

主機尺寸

1955W x 1580D x 1750H mm

真空腔體尺寸

1020W x 1330D x 913H mm

電極板配置

16 片垂直電極板,15 個處理位置

有效區域

1100W x 615H mm

等離子體電源

10kw-20kw

電極溫度

35~95℃,模溫恒定控制,待機狀態也能保持溫度不變,省去預熱時間

工藝氣體控制

標配:
O2、N2:0~5000sccm;
CF4:0~400sccm;
Ar:0~2000sccm;
可選:
額外一路工藝氣體,流量範圍可定制

真空檢測

0.01Torr~760Torr,真空計

工作氣壓

0.15~0.3Torr,控制精度 0.2mTorr

人機界面觸摸屏

中文界面,模擬圖文顯示;操作員、工程師權限分級;

真空泵組

選配

型號指示燈

三色指示燈,帶報警蜂鳴器

系統重量

~3.5 噸,包含主機、泵組、模溫機

空間需求

4000 x 4000 x 2200(H)mm

電源需求

AC380V 三相五線,50Hz/100A,30kW

壓縮空氣需求

潔凈、幹燥,0.5~0.8MPa

工藝氣體需求

0.3~0.5MPa,純度>99.9%

廠務冰水需求

20℃,20L/min (模溫機采用水冷式需求冰水,風冷式無該項)

抽風系統

>100 立方/min (模溫機采用風冷式需求熱排風,水冷式無該項)

廢氣管道

>3 立方/min,中央廢氣系統,DN50

環境溫濕度

20~30℃,30%~70%RH


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下一條 真空卷對卷垂直式

本文標簽:

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